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文献
J-GLOBAL ID：201902256050013687
整理番号：19A1939562
結晶シリコンのオクタフルオロシクロブタンプラズマジェットエッチングの予備的研究【JST・京大機械翻訳】
The Prelimniary Investigation of Octrafluorocyclobutane Plasma Jet Etching of Crystalline Silicon
Huang Chun
(Department of Chemical Engineering & Materials Science, Yuan Ze University, Taiwan)
,
Liu Wei-Ting
(Department of Chemical Engineering & Materials Science, Yuan Ze University, Taiwan)
,
Li Wei-Lun
(Department of Chemical Engineering & Materials Science, Yuan Ze University, Taiwan)
,
Huang Li-Ko
(Department of Chemical Engineering & Materials Science, Yuan Ze University, Taiwan)
,
Chen Yi-An
(Department of Chemical Engineering & Materials Science, Yuan Ze University, Taiwan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2019 号： SNW ページ： 1-2 発行年： 2019年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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