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文献
J-GLOBAL ID：201902256901252316
整理番号：19A1413855
誘電体としてTiO_2を用いた三次元MIM構造において達成された185nF/mm_2の高静電容量密度【JST・京大機械翻訳】
High capacitance density of 185 nF/mm2 achieved in three-dimensional MIM structures using TiO2 as a dielectric
Chaker A.
(University Grenoble Alpes, CNRS, LTM, F-38000 Grenoble, France)
,
Gonon P.
(University Grenoble Alpes, CNRS, LTM, F-38000 Grenoble, France)
,
Vallee C.
(University Grenoble Alpes, CNRS, LTM, F-38000 Grenoble, France)
,
Bsiesy A.
(University Grenoble Alpes, CNRS, LTM, F-38000 Grenoble, France)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 110 号： 24 ページ： 243501-243501-4 発行年： 2017年
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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