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文献
J-GLOBAL ID：201902257561559906
整理番号：19A0658863
低温での原子層堆積によるSnS薄膜の合成【JST・京大機械翻訳】
Synthesis of SnS Thin Films by Atomic Layer Deposition at Low Temperatures
Baek In-Hwan
(Center for Electronic Materials, Korea Institute of Science and Technology, South Korea)
,
Baek In-Hwan
(Department of Materials Science and Engineering, and Inter-University Semiconductor Research Center, Seoul National University, South Korea)
,
Pyeon Jung Joon
(Center for Electronic Materials, Korea Institute of Science and Technology, South Korea)
,
Pyeon Jung Joon
(KU-KIST Graduate School of Converging Science and Technology, Korea University, South Korea)
,
Song Young Geun
(Center for Electronic Materials, Korea Institute of Science and Technology, South Korea)
,
Song Young Geun
(School of Electrical Engineering, Korea University, South Korea)
,
Chung Taek-Mo
(Division of Advanced Materials, Korea Research Institute of Chemical Technology, South Korea)
,
Kim Hae-Ryoung
(High-Temperature Energy Materials Research Center, Korea Institute of Science and Technology, South Korea)
,
Baek Seung-Hyub
(Center for Electronic Materials, Korea Institute of Science and Technology, South Korea)
,
Baek Seung-Hyub
(Department of Nanomaterials Science and Technology, Korea University of Science and Technology, South Korea)
,
Kim Jin-Sang
(Center for Electronic Materials, Korea Institute of Science and Technology, South Korea)
,
Kang Chong-Yun
(Center for Electronic Materials, Korea Institute of Science and Technology, South Korea)
,
Kang Chong-Yun
(KU-KIST Graduate School of Converging Science and Technology, Korea University, South Korea)
,
Choi Ji-Won
(Center for Electronic Materials, Korea Institute of Science and Technology, South Korea)
,
Hwang Cheol Seong
(Department of Materials Science and Engineering, and Inter-University Semiconductor Research Center, Seoul National University, South Korea)
,
Han Jeong Hwan
(Division of Advanced Materials, Korea Research Institute of Chemical Technology, South Korea)
,
Han Jeong Hwan
(Department of Materials Science and Engineering, Seoul National University of Science and Technology, South Korea)
,
Kim Seong Keun
(Center for Electronic Materials, Korea Institute of Science and Technology, South Korea)
資料名：
Chemistry of Materials
(Chemistry of Materials)
巻： 29 号： 19 ページ： 8100-8110 発行年： 2017年
JST資料番号： T0893A ISSN： 0897-4756 CODEN： CMATEX 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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