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J-GLOBAL ID：201902257931409635 整理番号：19A2114739

スパッタリングと高温アニーリングによるc-AIN/a-サファイアテンプレートの作製【JST・京大機械翻訳】

Fabrication of c-AIN/a-Sapphire Templates by Sputtering and High-Temperature Annealing

著者 (5件)：

Hayashi Yusuke

(Mie Univ., Grad. School of RIS, Japan)

Fujikawa Kaito

(Mie Univ., Grad. School of Eng., Japan)

Uesugi Kenjiro

(SPORR, Mie Univ., Japan)

Shojiki Kanako

(Mie Univ., Grad. School of Eng., Japan)

Miyake Hideto

(Mie Univ., Grad. School of Eng., Japan)

資料名：

IEEE Conference Proceedings (IEEE Conference Proceedings)

巻： 2019 号： CSW ページ： 1 発行年： 2019年
JST資料番号： W2441A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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