文献
J-GLOBAL ID:201902259156049393
整理番号:19A0510562
制御された透過率を有する深くエッチングしたMEMSスロットマイクロミラー【JST・京大機械翻訳】
Deeply-Etched MEMS Slotted Micromirrors With Controlled Transmittance
著者 (5件):
Othman Muhammad A.
(Faculty of Engineering, Ain Shams University, Cairo, Egypt)
,
Sabry Yasser M.
(Faculty of Engineering, Ain Shams University, Cairo, Egypt)
,
Nassar Ismail M.
(Faculty of Engineering, Ain Shams University, Cairo, Egypt)
,
Sadek Mohamed
(Si-Ware Systems, Cairo, Egypt)
,
Khalil Diaa A.
(Faculty of Engineering, Ain Shams University, Cairo, Egypt)
資料名:
IEEE Journal of Quantum Electronics
(IEEE Journal of Quantum Electronics)
巻:
53
号:
6
ページ:
ROMBUNNO.5600108.1-8
発行年:
2017年
JST資料番号:
H0432A
ISSN:
0018-9197
CODEN:
IEJQA7
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)