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文献
J-GLOBAL ID：201902259165836506
整理番号：19A1416643
Al_2O_3/InGaAsゲートスタックの境界トラップ分析改善のための直列抵抗とゲート漏れ補正【JST・京大機械翻訳】
Series resistance and gate leakage correction for improved border trap analysis of Al2O3/InGaAs gate stacks
Tang K.
(Department of Materials Science and Engineering, Stanford University, Stanford, California 94305, USA)
,
Scheuermann A. G.
(Department of Materials Science and Engineering, Stanford University, Stanford, California 94305, USA)
,
Zhang L.
(Department of Electrical Engineering, Stanford University, Stanford, California 94305, USA)
,
McIntyre P. C.
(Department of Materials Science and Engineering, Stanford University, Stanford, California 94305, USA)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 122 号： 9 ページ： 094503-094503-6 発行年： 2017年
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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