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文献
J-GLOBAL ID：201902259335665575
整理番号：19A0787735
TiO_2薄膜の種々の性質に及ぼすマグネトロンパワーモードの影響【JST・京大機械翻訳】
Influence of magnetron powering mode on various properties of TiO2 thin films
Wiatrowski Artur
(Wroclaw University of Science and Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wroclaw, Poland)
,
Mazur Michal
(Wroclaw University of Science and Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wroclaw, Poland)
,
Obstarczyk Agata
(Wroclaw University of Science and Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wroclaw, Poland)
,
Kaczmarek Danuta
(Wroclaw University of Science and Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wroclaw, Poland)
,
Pastuszek Roman
(Wroclaw University of Science and Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wroclaw, Poland)
,
Wojcieszak Damian
(Wroclaw University of Science and Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wroclaw, Poland)
,
Grobelny Marcin
(Motor Transport Institute, Centre for Material Testing, Jagiellonska 80, 03-301 Warsaw, Poland)
,
Kalisz Malgorzata
(Motor Transport Institute, Centre for Material Testing, Jagiellonska 80, 03-301 Warsaw, Poland)
資料名：
Materials Science-Poland (Web)
(Materials Science-Poland (Web))
巻： 36 号： 4 ページ： 748-760 発行年： 2018年
JST資料番号： U8080A ISSN： 2083-134X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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