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文献
J-GLOBAL ID：201902259915988557
整理番号：19A1655827
RFマグネトロンスパッタリングによりサファイア基板上に堆積した[数式:原文を参照]薄膜のパワー依存物理特性【JST・京大機械翻訳】
Power-dependent physical properties of [Formula : see text] thin films deposited on sapphire substrates by RF magnetron sputtering
Mantarci Asim
(Department of Physics, Faculty of Art and Science, Mus Alparslan University, Mus, Turkey)
,
Kundakci Mutlu
(Department of Physics, Faculty of Science, Atatuerk University, Erzurum, Turkey)
資料名：
Bulletin of Materials Science
(Bulletin of Materials Science)
巻： 42 号： 5 ページ： 1-12 発行年： 2019年
JST資料番号： T0142A ISSN： 0250-4707 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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