文献
J-GLOBAL ID:201902261533713812
整理番号:19A2094405
焦点同調と駆動アクチュエータと完全に集積した高分解能圧電MEMSスキャナ【JST・京大機械翻訳】
High-Resolution Piezoelectric Mems Scanner Fully Integrated With Focus-Tuning and Driving Actuators
著者 (4件):
Inagaki Shunsuke
(Dept. of EEIS, the University of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Okamoto Yuki
(Dept. of EEIS, the University of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Higo Akio
(VLSI Design and Education Center, the University of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Mita Yoshio
(Dept. of EEIS, the University of Tokyo, Tokyo, Japan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2019
号:
TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII
ページ:
474-477
発行年:
2019年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)