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文献
J-GLOBAL ID:201902261855584460   整理番号:19A1873330

TEOS蒸気中の電子衝撃と電子輸送により誘起された解離反応

Dissociative reactions induced by electron impact and electron transport in TEOS vapor
著者 (7件):
KAWAGUCHI Satoru
(Graduate School of Muroran Inst. of Technol., Hokkaido, JPN)
KAWAGUCHI Satoru
(Japan Soc. for the Promotion of Sci., JPN)
HIGUCHI Hisashi
(Toyko Electron Technol. Solutions Ltd, Yamanashi, JPN)
LI Hu
(Toyko Electron Technol. Solutions Ltd, Yamanashi, JPN)
DENPOH Kazuki
(Toyko Electron Technol. Solutions Ltd, Yamanashi, JPN)
TAKAHASHI Kazuhiro
(Graduate School of Muroran Inst. of Technol., Hokkaido, JPN)
SATOH Kohki
(Graduate School of Muroran Inst. of Technol., Hokkaido, JPN)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)

巻: 58  号:ページ: 066003.1-066003.9  発行年: 2019年06月 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  CODEN: JJAPB6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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