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文献
J-GLOBAL ID：201902261855584460
整理番号：19A1873330
TEOS蒸気中の電子衝撃と電子輸送により誘起された解離反応
Dissociative reactions induced by electron impact and electron transport in TEOS vapor
KAWAGUCHI Satoru
(Graduate School of Muroran Inst. of Technol., Hokkaido, JPN)
,
KAWAGUCHI Satoru
(Japan Soc. for the Promotion of Sci., JPN)
,
HIGUCHI Hisashi
(Toyko Electron Technol. Solutions Ltd, Yamanashi, JPN)
,
LI Hu
(Toyko Electron Technol. Solutions Ltd, Yamanashi, JPN)
,
DENPOH Kazuki
(Toyko Electron Technol. Solutions Ltd, Yamanashi, JPN)
,
TAKAHASHI Kazuhiro
(Graduate School of Muroran Inst. of Technol., Hokkaido, JPN)
,
SATOH Kohki
(Graduate School of Muroran Inst. of Technol., Hokkaido, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 58 号： 6 ページ： 066003.1-066003.9 発行年： 2019年06月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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