文献
J-GLOBAL ID:201902265716749827
整理番号:19A1604336
Nikon ArFとKrFスキャナ機械のためのレンズフレアのモニタ戦略:シミュレーション結果と議論【JST・京大機械翻訳】
The Monitor Strategies of Lens Flare for Nikon ArF and KrF Scanner Machines: Simulated Results and Discussion
著者 (4件):
Zheng Zhe
(Nikon Precision Shanghai Co. Ltd., Shanghai 201206, China)
,
Yang Zhenyu
(Nikon Precision Shanghai Co. Ltd., Shanghai 201206, China)
,
Shao Chun
(Nikon Precision Shanghai Co. Ltd., Shanghai 201206, China)
,
Ikeda Junji
(Nikon Corporation, Kumagaya, Saitama 360-8559, Japan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2019
号:
CSTIC
ページ:
1-3
発行年:
2019年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)