文献
J-GLOBAL ID:201902268116226195
整理番号:19A0511562
原子層堆積により蒸着したNbN膜の超伝導特性【JST・京大機械翻訳】
Superconducting Characteristics of NbN Films Deposited by Atomic Layer Deposition
著者 (2件):
Ukibe Masahiro
(Nanoelectronics Research Institute, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Tsukuba, Japan)
,
Fujii Go
(Nanoelectronics Research Institute, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Tsukuba, Japan)
資料名:
IEEE Transactions on Applied Superconductivity
(IEEE Transactions on Applied Superconductivity)
巻:
27
号:
4
ページ:
ROMBUNNO.2201404.1-4
発行年:
2017年
JST資料番号:
W0177A
ISSN:
1051-8223
CODEN:
ITASE9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)