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文献
J-GLOBAL ID：201902268773391764
整理番号：19A1386670
LCRと直接電荷ベース機器を用いた並列試験構造の容量測定に関するテストスループット解析の研究【JST・京大機械翻訳】
A Study of Test Throughput Analysis on Capacitance Measurement of Parallel Test Structures Using LCR and Direct Charge based Instruments
Katragadda Veenadhar
(PDYE Test & Char, GlobalFoundries, Malta, NY, USA)
,
Deshmukh Namita
(PDYE Test & Char, GlobalFoundries, Malta, NY, USA)
,
Gasasira Arthur
(PDYE Test & Char, GlobalFoundries, Malta, NY, USA)
,
Lee Cheng-Mao
(Semiconductor Test, Keysight Technologies, USA)
,
Cusick Alan
(PDYE Test & Char, GlobalFoundries, Malta, NY, USA)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2019 号： ICMTS ページ： 146-148 発行年： 2019年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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