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文献
J-GLOBAL ID：201902269203802182
整理番号：19A2114672
ミストCVDによるAlTiO膜の合成とキャラクタリゼーション【JST・京大機械翻訳】
Synthesis and characterization of AlTiO films by mist-CVD
Yatabe Zenji
(Kumamoto University, Japan)
,
Nishiyama Koshi
(Kumamoto University, Japan)
,
Tsuda Takaaki
(Kumamoto University, Japan)
,
Nishimura Kazuki
(Kumamoto University, Japan)
,
Nakamura Yusui
(Kumamoto Phoenics, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2019 号： CSW ページ： 1 発行年： 2019年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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