文献
J-GLOBAL ID:201902270974678802
整理番号:19A0900730
EUVレジスト感度の向上に関する研究(2)【JST・京大機械翻訳】
A study on enhancing EUV resist sensitivity (2)
著者 (7件):
Sekiguchi Atsushi
(Litho Tech Japan Corp. (Japan))
,
Matsumoto Yoko
(Litho Tech Japan Corp. (Japan))
,
Isono Mariko
(Litho Tech Japan Corp. (Japan))
,
Naito Michiya
(Toyo Gosei Kogyo Co., Ltd. (Japan))
,
Utsumi Yoshiyuki
(Toyo Gosei Kogyo Co., Ltd. (Japan))
,
Harada Tetsuo
(Univ. of Hyogo (Japan))
,
Watanabe Takeo
(Univ. of Hyogo (Japan))
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
10583
ページ:
1058320-11
発行年:
2018年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)