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文献
J-GLOBAL ID：201902272557020648
整理番号：19A1628202
多層Mo/SiミラーにおけるMo膜の微細構造と密度【JST・京大機械翻訳】
Microstructure and Density of Mo Films in Multilayer Mo/Si Mirrors
Vainer Yu. A.
(Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia)
,
Garakhin S. A.
(Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia)
,
Polkovnikov V. N.
(Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia)
,
Salashchenko N. N.
(Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia)
,
Svechnikov M. V.
(Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia)
,
Chkhalo N. I.
(Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia)
,
Yunin P. A.
(Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia)
資料名：
Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques
(Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques)
巻： 13 号： 1 ページ： 8-13 発行年： 2019年
JST資料番号： W4669A ISSN： 1027-4510 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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