文献
J-GLOBAL ID:201902275619677560
整理番号:19A2083364
オペランド脱着ガス分析システムの開発
Development of Operand Desorption Gas Analysis System
著者 (4件):
KURISU Hiroki
(Yamaguchi Univ., Yamaguchi, JPN)
,
KIMURA Takayuki
(Yamaguchi Univ., Yamaguchi, JPN)
,
YAMAMOTO Setsuo
(Yamaguchi Univ., Yamaguchi, JPN)
,
HIGUCHI Tetsuo
(JEOL Ltd., Tokyo, JPN)
資料名:
Sensors and Materials
(Sensors and Materials)
巻:
31
号:
8 (2)
ページ:
2547-2554
発行年:
2019年
JST資料番号:
L0338A
ISSN:
0914-4935
CODEN:
SENMER
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)