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文献
J-GLOBAL ID：201902276110815612
整理番号：19A2210175
プラズマ曝露下の窒化ホウ素膜の表面改質機構のキャラクタリゼーション【JST・京大機械翻訳】
Characterization of surface modification mechanisms for boron nitride films under plasma exposure
Higuchi Tomoya
(Graduate School of Engineering, Kyoto University, Nishikyo-ku, Kyoto 615-8540, Japan)
,
Noma Masao
(SHINKO SEIKI CO., LTD., Moriyama, Shiga 524-0051, Japan)
,
Yamashita Michiru
(Hyogo Prefectural Institute of Technology, Kobe, Hyogo 654-0037, Japan)
,
Urabe Keiichiro
(Graduate School of Engineering, Kyoto University, Nishikyo-ku, Kyoto 615-8540, Japan)
,
Hasegawa Shigehiko
(The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University, Ibaraki, Osaka 567-0047, Japan)
,
Eriguchi Koji
(Graduate School of Engineering, Kyoto University, Nishikyo-ku, Kyoto 615-8540, Japan)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 377 ページ： Null 発行年： 2019年
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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