文献
J-GLOBAL ID:201902276319086533
整理番号:19A0912234
表面構造の表面品質測定技術に関する研究【JST・京大機械翻訳】
Research on surface quality measurement technology for small surface structure
著者 (7件):
Zeng Zhaoqi
(Beijing Institute of Control Engineering (China))
,
Zang Xiaohua
(Beijing Institute of Control Engineering (China))
,
Zang Jie
(Beijing Institute of Spacecraft System Engineering (China))
,
Gou Haoliang
(Beijing Institute of Control Engineering (China))
,
Zhang Bing
(Beijing Institute of Control Engineering (China))
,
Wei Yanming
(Beijing Institute of Control Engineering (China))
,
Zhao Xuesen
(Harbin Institute of Technology (China))
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
10841
ページ:
1084116-10
発行年:
2019年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)