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文献
J-GLOBAL ID：201902276640704051
整理番号：19A1098961
XeF2蒸気エッチングによるKoehler照明を用いた微生物細胞捕捉のための凹形マイクロミラーの微細加工
Microfabrication of Concave Micromirror for Microbial Cell Trapping Using Koehler Illumination by XeF2 Vapor Etching
MATSUTANI Akihiro
(Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
,
SATO Mina
(Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
,
HASEBE Koichi
(Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
,
TAKADA Ayako
(Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
資料名：
Sensors and Materials
(Sensors and Materials)
巻： 31 号： 4 (3) ページ： 1325-1334 発行年： 2019年
JST資料番号： L0338A ISSN： 0914-4935 CODEN： SENMER 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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