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文献
J-GLOBAL ID：201902276742774168
整理番号：19A0511437
ワニス100mmウエハ上に高度に均一な特性を持つ超伝導NbTiN薄膜【JST・京大機械翻訳】
Superconducting NbTin Thin Films With Highly Uniform Properties Over a ${¥varnothing}$ 100 mm Wafer
Thoen David Johannes
(Department of Electrical Engineering, Faculty of Mathematics and Computer Science (EEMCS), Delft University of Technology, Delft, CD, The Netherlands)
,
Bos Boy Gustaaf Cornelis
(Kavli Institute of NanoScience, Faculty of Applied Sciences, Delft University of Technology, Delft, CJ, The Netherlands)
,
Haalebos E. A. F.
(Netherlands Institute for Space Research (SRON), Utrecht, CA, The Netherlands)
,
Klapwijk T. M.
(Kavli Institute of NanoScience, Faculty of Applied Sciences, Delft University of Technology, Delft, CJ, The Netherlands)
,
Baselmans J. J. A.
(Department of Electrical Engineering, Faculty of Mathematics and Computer Science (EEMCS), Delft University of Technology, Delft, CD, The Netherlands)
,
Endo Akira
(Department of Electrical Engineering, Faculty of Mathematics and Computer Science (EEMCS), Delft University of Technology, Delft, CD, The Netherlands)
資料名：
IEEE Transactions on Applied Superconductivity
(IEEE Transactions on Applied Superconductivity)
巻： 27 号： 4 ページ： 1-5 発行年： 2017年
JST資料番号： W0177A ISSN： 1051-8223 CODEN： ITASE9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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