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文献
J-GLOBAL ID：201902278471017578
整理番号：19A1375085
ミストCVDにおける薄膜成長メカニズム
川原村敏幸
(高知工科大)
,
川原村敏幸
(高知工大 総研)
,
西美咲
(高知工科大)
,
LIU Li
(高知工科大)
,
坂本雅仁
(高知工科大)
,
RUTTHONGJAN Phimolphan
(高知工科大)
,
佐藤翔太
(高知工科大)
,
上田真理子
(高知工科大)
,
安岡達也
(高知工科大)
,
長谷川諒
(高知工科大)
,
田頭侑貴
(高知工科大)
,
尾崎珠子
(高知工科大)
,
DANG Giang T.
(高知工科大)
資料名：
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 66th ページ： ROMBUNNO.10p-W241-7 発行年： 2019年02月25日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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