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文献
J-GLOBAL ID：201902278627566359
整理番号：19A2691833
高荷電Arビームを用いた6H-SiC上の多段階膨潤構造の作製【JST・京大機械翻訳】
Fabrication of multi-step swelling structures on 6H-SiC by using highly-charged Ar beams
Momota S.
(Kochi University of Technology, Kochi, 782-8502, Japan)
,
Sato N.
(Kochi University of Technology, Kochi, 782-8502, Japan)
,
Sato N.
(WORLD INTEC Co., Ltd., Osaka, 530-0001, Japan)
,
Honda K.
(Kochi University of Technology, Kochi, 782-8502, Japan)
資料名：
Vacuum
(Vacuum)
巻： 170 ページ： Null 発行年： 2019年
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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