文献
J-GLOBAL ID:201902279512672656
整理番号:19A1334977
BEOL/FEOL応用のための多重スポット競合進行性破壊のための包括的方法論【JST・京大機械翻訳】
Comprehensive Methodology for Multiple Spots Competing Progressive Breakdown for BEOL/FEOL Applications
著者 (4件):
Wu Ernest Y.
(Essex Junction, VT, USA)
,
Li Baozhen
(Essex Junction, VT, USA)
,
Stathis James H.
(Yorktown Heights, NY)
,
Kim Andrew
(Hopewell Junction, NY, USA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2019
号:
IRPS
ページ:
1-8
発行年:
2019年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)