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文献
J-GLOBAL ID：201902279711520755
整理番号：19A2901172
凝集コロイド状セリアスラリーによる石英ガラス基板のCMP特性【JST・京大機械翻訳】
CMP characteristics of quartz glass substrate by aggregated colloidal ceria slurry
Wakamatsu Kaito
(Department of Mechanical Engineering, Kyushu University, 819-0395, Fukuoka, Japan)
,
Kurokawa Syuhei
(Department of Mechanical Engineering, Kyushu University, 819-0395, Fukuoka, Japan)
,
Toyama Takaaki
(Department of Mechanical Engineering, Kyushu University, 819-0395, Fukuoka, Japan)
,
Hayashi Terutake
(Department of Mechanical Engineering, Kyushu University, 819-0395, Fukuoka, Japan)
資料名：
Precision Engineering
(Precision Engineering)
巻： 60 ページ： 458-464 発行年： 2019年
JST資料番号： A0734B ISSN： 0141-6359 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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