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J-GLOBAL ID：201902280183308046 整理番号：19A1089574

光軸方向に生成される3光束レーザー干渉による干渉パターンの位相解析手法

Phase Analysis Method of Interferometric Pattern Generated for Optical Axis Direction Using Three Laser Beam Interferometry

著者 (3件)：

川原滉平

(福井大学大学院)

藤垣元治

(福井大学大学院)

後藤優太

(福井大学大学院)

資料名：

精密工学会誌(Web) (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))

巻： 85 号： 4 ページ： 352-358(J-STAGE) 発行年： 2019年
JST資料番号： U0462A ISSN： 1882-675X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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