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文献
J-GLOBAL ID:201902282764215151   整理番号:19A2331892

AlN/オフアクシスSi(110)ヘテロ構造上の3C-SiC(111)の成長とその上へのエピタキシャルグラフェンの形成

Growth of 3C-SiC(111) on AlN/off-axis Si(110) hetero-structure and formation of epitaxial graphene thereon
著者 (4件):
NARITA Syunki
(Hirosaki Univ., Aomori, JPN)
NARA Yuki
(Hirosaki Univ., Aomori, JPN)
ENTA Yoshiharu
(Hirosaki Univ., Aomori, JPN)
NAKAZAWA Hideki
(Hirosaki Univ., Aomori, JPN)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)

巻: 58  号: SI  ページ: SIIA16.1-SIIA16.8  発行年: 2019年08月 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  CODEN: JJAPB6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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