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文献
J-GLOBAL ID：201902283314674827
整理番号：19A0169180
マイクロ加工カンチレバーを用いた304ステンレス鋼箔上に蒸着した窒化アルミニウム膜のYoung率と疲労研究【JST・京大機械翻訳】
Young’s modulus and fatigue investigation of aluminum nitride films deposited on 304 stainless steel foils using micro-fabricated cantilevers
Zheng Qiu
(New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University, 6-6-10 Aramaki-Aoba, Aoba-ku, Sendai, Miyagi 980-8579, Japan)
,
Van Minh Le
(New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University, 6-6-10 Aramaki-Aoba, Aoba-ku, Sendai, Miyagi 980-8579, Japan)
,
Kuwano Hiroki
(New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University, 6-6-10 Aramaki-Aoba, Aoba-ku, Sendai, Miyagi 980-8579, Japan)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 285 ページ： 173-181 発行年： 2019年
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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