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文献
J-GLOBAL ID：201902283965057727
整理番号：19A1827360
改良ゲートスタック表面調製によるSi不動態化Ge nFinFETにおける記録GM_SAT/SS_SATとPBTI信頼性【JST・京大機械翻訳】
A record GmSAT/SSSAT and PBTI reliability in Si-passivated Ge nFinFETs by improved gate stack surface preparation
Arimura H.
(imec, Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium)
,
Cott D.
(imec, Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium)
,
Boccardi G.
(imec, Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium)
,
Loo R.
(imec, Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium)
,
Wostyn K.
(imec, Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium)
,
Brus S.
(imec, Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium)
,
Capogreco E.
(imec, Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium)
,
Opdebeeck A.
(imec, Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium)
,
Witters L.
(imec, Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium)
,
Conard T.
(imec, Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium)
,
Suhard S.
(imec, Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium)
,
Van Dorp D.
(imec, Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium)
,
Kenis K.
(imec, Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium)
,
Ragnarsson L.-A.
(imec, Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium)
,
Mitard J.
(imec, Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium)
,
Holsteyns F.
(imec, Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium)
,
De Heyn V.
(imec, Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium)
,
Mocuta D.
(imec, Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium)
,
Collaert N.
(imec, Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium)
,
Horiguchi N.
(imec, Kapeldreef 75, Leuven, B-3001, Belgium)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2019 号： VLSI Technology ページ： T92-T93 発行年： 2019年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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