文献
J-GLOBAL ID:201902285617899957
整理番号:19A2928928
J字形バイモルフマイクロアクチュエータを用いた電熱マイクロミラー【JST・京大機械翻訳】
An Electrothermal Micromirror with J-shaped Bimorph Microactuators
著者 (3件):
Zhou Liang
(University of Florida,Department of Electrical and Computer Engineering,Gainesville,FL,USA,32611)
,
Wang Dingkang
(University of Florida,Department of Electrical and Computer Engineering,Gainesville,FL,USA,32611)
,
Xie Huikai
(University of Florida,Department of Electrical and Computer Engineering,Gainesville,FL,USA,32611)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2019
号:
OMN
ページ:
226-227
発行年:
2019年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)