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文献
J-GLOBAL ID：201902287624360576
整理番号：19A0900762
CD均一性改善のためのクリーンフォーカス,線量およびCD計測【JST・京大機械翻訳】
Clean focus, dose and CD metrology for CD uniformity improvement
Lee Honggoo
(SK hynix, Inc. (Korea, Republic of))
,
Han Sangjun
(SK hynix, Inc. (Korea, Republic of))
,
Hong Minhyung
(SK hynix, Inc. (Korea, Republic of))
,
Kim Seungyoung
(SK hynix, Inc. (Korea, Republic of))
,
Lee Jieun
(SK hynix, Inc. (Korea, Republic of))
,
Lee DongYoung
(SK hynix, Inc. (Korea, Republic of))
,
Oh Eungryong
(SK hynix, Inc. (Korea, Republic of))
,
Choi Ahlin
(SK hynix, Inc. (Korea, Republic of))
,
Kim Nakyoon
(KLA-Tencor Korea (Korea, Republic of))
,
Robinson John C.
(KLA-Tencor Corp. (United States))
,
Mengel Markus
(KLA-Tencor Corp. (United States))
,
Pablo Rovira
(KLA-Tencor Corp. (United States))
,
Yoo Sungchul
(KLA-Tencor Corp. (United States))
,
Getin Raphael
(KLA-Tencor Corp. (United States))
,
Choi Dongsub
(KLA-Tencor Korea (Korea, Republic of))
,
Jeon Sanghuck
(KLA-Tencor Korea (Korea, Republic of))
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 10585 ページ： 105852A-9 発行年： 2018年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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