文献
J-GLOBAL ID:201902289861080642
整理番号:19A1413850
垂直シリコンプローブに基づく原子間力顕微鏡【JST・京大機械翻訳】
Atomic force microscope based on vertical silicon probes
著者 (3件):
Walter Benjamin
(Vmicro SAS, Avenue Poincare, 59650 Villeneuve d’Ascq, France)
,
Mairiaux Estelle
(Vmicro SAS, Avenue Poincare, 59650 Villeneuve d’Ascq, France)
,
Faucher Marc
(Vmicro SAS, Avenue Poincare, 59650 Villeneuve d’Ascq, France)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
110
号:
24
ページ:
243101-243101-4
発行年:
2017年
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)