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文献
J-GLOBAL ID：201902290489707883
整理番号：19A0918946
高出力インパルスマグネトロンスパッタリングにより堆積したAlCrSiN被覆の微細構造と特性に及ぼすN2/Ar流量比の影響【JST・京大機械翻訳】
Influence of N2/Ar Flow Ratio on Microstructure and Properties of the AlCrSiN Coatings Deposited by High-Power Impulse Magnetron Sputtering
Li Bai-Song
(National-Local Joint Engineering Laboratory of Intelligent Manufacturing Oriented Automobile Die & Mould, Tianjin University of Technology and Education, Tianjin 300222, China)
,
Wang Tie-Gang
(National-Local Joint Engineering Laboratory of Intelligent Manufacturing Oriented Automobile Die & Mould, Tianjin University of Technology and Education, Tianjin 300222, China)
,
Wang Tie-Gang
(Tianjin Key Laboratory of High Speed Cutting and Precision Machining, Tianjin University of Technology and Education, Tianjin 300222, China)
,
Ding Jicheng
(Global Frontier R&D Center for Hybrid Interface Materials, Pusan National University, Busan 609-735, Korea)
,
Cai Yujun
(National-Local Joint Engineering Laboratory of Intelligent Manufacturing Oriented Automobile Die & Mould, Tianjin University of Technology and Education, Tianjin 300222, China)
,
Cai Yujun
(Tianjin Key Laboratory of High Speed Cutting and Precision Machining, Tianjin University of Technology and Education, Tianjin 300222, China)
,
Shi Jing
(School of Materials Science and Technology, Ocean University of China, Qingdao 266100, China)
,
Zhang Xitong
(National-Local Joint Engineering Laboratory of Intelligent Manufacturing Oriented Automobile Die & Mould, Tianjin University of Technology and Education, Tianjin 300222, China)
資料名：
Coatings (Web)
(Coatings (Web))
巻： 8 号： 1 ページ： 3 発行年： 2017年
JST資料番号： U7162A ISSN： 2079-6412 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： スイス (CHE) 言語： 英語 (EN)
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