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文献
J-GLOBAL ID：201902291706045738
整理番号：19A0728396
物理蒸着による配向尿素オリゴマを有する高硬度および低誘電率薄膜【JST・京大機械翻訳】
High hardness and low dielectric constant thin films with oriented urea oligomers by physical vapor deposition
Morimoto Masahiro
(Department of Chemical Science and Engineering, Graduate School of Engineering, Kobe University, Kobe, Japan)
,
Morimoto Masahiro
(Graduate School of Science and Engineering for Research, University of Toyama, Toyama, Japan)
,
Fukutomi Tatsuya
(Department of Chemical Science and Engineering, Graduate School of Engineering, Kobe University, Kobe, Japan)
,
Koshiba Yasuko
(Department of Chemical Science and Engineering, Graduate School of Engineering, Kobe University, Kobe, Japan)
,
Ishida Kenji
(Department of Chemical Science and Engineering, Graduate School of Engineering, Kobe University, Kobe, Japan)
資料名：
Journal of Materials Science
(Journal of Materials Science)
巻： 54 号： 3 ページ： 2483-2492 発行年： 2019年
JST資料番号： B0722A ISSN： 0022-2461 CODEN： JMTSAS 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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