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J-GLOBAL ID：202002210416925732 整理番号：20A2182727

マイクロ流路による物質輸送制御下におけるパルスめっきの観察-トレンチ形状への銅めっき-

Observation of Pulse Electrodeposition in a Controlled Environment Using Micro Fluidic Device-Copper Electrodeposition into Micro Trenches-

著者 (3件)：

大塚祐輝

(東京理大)

秋田貴誉

(東京理大)

早瀬仁則

(東京理大)

資料名：

半導体・集積回路技術シンポジウム(CD-ROM) (半導体・集積回路技術シンポジウム講演予稿集(CD-ROM))

巻： 84th ページ： ROMBUNNO.P1 発行年： 2020年
JST資料番号： F0108C 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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