文献
J-GLOBAL ID:202002210917107598
整理番号:20A1079368
Alターゲットのマイクロ合金化はスパッタアルミナのプロセスと膜特性を改善できるか【JST・京大機械翻訳】
How microalloying of the Al target can improve process and film characteristics of sputtered alumina
著者 (7件):
Kohlhauser B.
(Institute of Materials Science and Technology, TU Wien, A-1060 Vienna, Austria)
,
Kohlhauser B.
(AC2T Research GmbH, A-2700 Wiener Neustadt, Austria)
,
Riedl H.
(Institute of Materials Science and Technology, TU Wien, A-1060 Vienna, Austria)
,
Koller C.M.
(Institute of Materials Science and Technology, TU Wien, A-1060 Vienna, Austria)
,
Paneta V.
(Department of Physics and Astronomy, Uppsala University, SE-75120 Uppsala, Sweden)
,
Kolozsvari S.
(Plansee Composite Materials GmbH, D-86983 Lechbruck am See, Germany)
,
Mayrhofer P.H.
(Institute of Materials Science and Technology, TU Wien, A-1060 Vienna, Austria)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
393
ページ:
Null
発行年:
2020年
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)