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文献
J-GLOBAL ID：202002211794975615
整理番号：20A0910320
垂直ナノワイヤとナノシートFET デバイスの特徴,改良されたプロセス制御のための新しいスキーム,より高速でより高いエネルギー効率の回路のための可能性【JST・京大機械翻訳】
Vertical Nanowire and Nanosheet FETs: Device Features, Novel Schemes for Improved Process Control and Enhanced Mobility, Potential for Faster & More Energy Efficient Circuits
Veloso A.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Hikavyy A.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Loo R.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Paraschiv V.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Chan B. T.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Radisic D.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Li W.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Versluijs J. J.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Teugels L.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Sebaai F.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Favia P.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Eneman G.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Bender H.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Vancoille E.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Scheerder J. E.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Fleischmann C.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Horiguchi N.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Matagne P.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Huynh-Bao T.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Chasin A.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Simoen E.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Vecchio E.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Devriendt K.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Brus S.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
,
Rosseel E.
(Imec,Leuven,Belgium,3001)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2019 号： IEDM ページ： 11.1.1-11.1.4 発行年： 2019年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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