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文献
J-GLOBAL ID：202002213937242204
整理番号：20A1413375
金のナノインプリントリソグラフィーにおける材料変形挙動に関するプロセスパラメータ変化の原子論的研究【JST・京大機械翻訳】
Atomistic investigation of process parameter variations on material deformation behavior in nanoimprint lithography of gold
Gaikwad Abhaysinh
(Department of Industrial & Systems Engineering, North Carolina Agricultural & Technical State University, Greensboro, NC, 27411, USA)
,
Odujole Jahlani
(Department of Industrial & Systems Engineering, North Carolina Agricultural & Technical State University, Greensboro, NC, 27411, USA)
,
Desai Salil
(Department of Industrial & Systems Engineering, North Carolina Agricultural & Technical State University, Greensboro, NC, 27411, USA)
,
Desai Salil
(Wake Forest Institute for Regenerative Medicine, Wake Forest School of Medicine, Winston-Salem, NC, 27157, USA)
資料名：
Precision Engineering
(Precision Engineering)
巻： 64 ページ： 7-19 発行年： 2020年
JST資料番号： A0734B ISSN： 0141-6359 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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