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文献
J-GLOBAL ID：202002213997939948
整理番号：20A1199965
大面積多結晶シリコンウエハ上の均一なブラックシリコンナノ構造を作製するためのSAW損傷除去の改善【JST・京大機械翻訳】
Improvement of saw damage removal to fabricate uniform black silicon nanostructure on large-area multi-crystalline silicon wafers
Li Xinpu
(Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
,
Li Xinpu
(University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
,
Tao Ke
(Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
,
Tao Ke
(University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
,
Ge Huayun
(Hanwha SolarOne, Jiangsu 200335, China)
,
Zhang Danni
(Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
,
Zhang Danni
(University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
,
Gao Zhibo
(Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
,
Jia Rui
(Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
,
Jia Rui
(University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
,
Chen Shengdi
(Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
,
Chen Shengdi
(University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
,
Ji Zhuoyu
(North China Elect Power Univ, Coll Environm Sci & Engn, MOE Key Lab Resources & Environm Syst Optimizat, Beijing 102206, China)
,
Jin Zhi
(Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
,
Jin Zhi
(University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
,
Liu Xinyu
(Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
,
Liu Xinyu
(University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
資料名：
Solar Energy
(Solar Energy)
巻： 204 ページ： 577-584 発行年： 2020年
JST資料番号： E0099A ISSN： 0038-092X CODEN： SRENA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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