文献
J-GLOBAL ID:202002214571798824
整理番号:20A0876717
シリコンマイクロニードルマトリックス形成のための技術的経路の開発【JST・京大機械翻訳】
Development of a Technological Route for the Silicon Microneedles Matrix Formation
著者 (4件):
Chaplygin Yury A.
(National Research University of Electronic Technology ”MIET”,Moscow, Zelenograd,Russia)
,
Putrya Mikhail G.
(National Research University of Electronic Technology ”MIET”,Moscow, Zelenograd,Russia)
,
Paramonov V. V.
(National Research University of Electronic Technology ”MIET”,Moscow, Zelenograd,Russia)
,
Osipova T. V.
(SMC Technological Centre,Semiconductor Dept.,Moscow, Zelenograd,Russia)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2020
号:
EIConRus
ページ:
2119-2122
発行年:
2020年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)