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文献
J-GLOBAL ID：202002216337517961
整理番号：20A0785073
銀を用いたフレキシブルAlドープZnO/Ag/AlドープZnO透明導電膜の特性改善【JST・京大機械翻訳】
Improvement of characteristics of flexible Al-doped ZnO/Ag/Al-doped ZnO transparent conductive film using silver
Manzen Issei
(Advanced Mechanical and Electronic Systems Engineering, National Institute of Technology, Kagoshima College, Kirishima 899-5193, Japan)
,
Yoshimura Yukio
(Kagoshima Prefectural Institute of Industrial Technology, Kirishima 899-5105, Japan)
,
Matsubara Kazuki
(Department of Electronic Control Engineering, National Institute of Technology, Kagoshima College, Kirishima 899-5193, Japan)
,
Nitta Atsushi
(Department of Electronic Control Engineering, National Institute of Technology, Kagoshima College, Kirishima 899-5193, Japan)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 38 号： 2 ページ： 022205-022205-7 発行年： 2020年
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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