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文献
J-GLOBAL ID：202002218076835904
整理番号：20A1235581
粉末ターゲットを用いた背面照射パルスレーザ蒸着法による二次元薄膜の作製
Preparation of two-dimensional thin films by backside irradiation pulsed laser deposition method using powder target
Kawasaki Hiroharu
(National Institute of Technology, Sasebo College, Sasebo, Nagasaki 857-1193, Japan)
,
Ohshima Tamiko
(National Institute of Technology, Sasebo College, Sasebo, Nagasaki 857-1193, Japan)
,
Yagyu Yoshihito
(National Institute of Technology, Sasebo College, Sasebo, Nagasaki 857-1193, Japan)
,
Ihara Takeshi
(National Institute of Technology, Sasebo College, Sasebo, Nagasaki 857-1193, Japan)
,
Shinohara Masanori
(National Institute of Technology, Sasebo College, Sasebo, Nagasaki 857-1193, Japan)
,
Suda Yoshiaki
(National Institute of Technology, Ishikawa College, Tsubata, Ishikawa 929-0392, Japan)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 59 号： SA ページ： SAAC01 (5pp) 発行年： 2020年01月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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