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文献
J-GLOBAL ID：202002218521561900
整理番号：20A0133040
変わる次世代加工技術 ELID研削とCMPの組み合わせによる高効率仕上げ加工の試み
大森整
(理研)
,
KIM Yunji
(九大)
,
上原嘉宏
(理研)
,
春日博
(理研)
,
小野照子
(理研)
,
黒河周平
(九大)
,
梅津信二郎
(早稲田大)
資料名：
機械と工具
(生産加工技術を支える機械と工具)
巻： 10 号： 1 ページ： 18-22 発行年： 2020年01月10日
JST資料番号： G0120A ISSN： 0387-1053 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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