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文献
J-GLOBAL ID：202002218563248902
整理番号：20A0007780
CrN/Cr多層膜における{112}方位CrN層の残留応力測定【JST・京大機械翻訳】
Residual stress measurement of {112}-oriented CrN layers in CrN/Cr multilayer films
Kusaka Kazuya
(Institute of Technology and Science, Tokushima University, 2-1, Minamijosanjima, Tokushima, Tokushima 7708506, Japan)
,
Shirasaka Kenta
(Graduate School of Advanced Technology and Science, Tokushima University, 2-1, Minamijosanjima, Tokushima, Tokushima 7708506, Japan)
,
Yonekura Daisuke
(Institute of Technology and Science, Tokushima University, 2-1, Minamijosanjima, Tokushima, Tokushima 7708506, Japan)
,
Tanaka Yuta
(Materials Department, Research Laboratory, IHI Corporation, 1, Shin-nakahara-cho, Isogo-ku, Yokohama, Kanagawa 235-8501, Japan)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 37 号： 6 ページ： 062919-062919-6 発行年： 2019年
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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