文献
J-GLOBAL ID:202002220615575616
整理番号:20A0323193
発光分光法によるマグネトロンスパッタリング金属クラスタ源におけるクラスタ成長の解析
Analysis of Cluster Growth in Magnetron-sputtering Metal-cluster Source by Optical Emission Spectroscopy
著者 (3件):
Kono Satoshi
(Department of Chemistry, Faculty of Science, Kyushu University)
,
Arakawa Masashi
(Department of Chemistry, Faculty of Science, Kyushu University)
,
Terasaki Akira
(Department of Chemistry, Faculty of Science, Kyushu University)
資料名:
Chemistry Letters (Web)
(Chemistry Letters (Web))
巻:
48
号:
12
ページ:
1537-1540(J-STAGE)
発行年:
2019年
JST資料番号:
U1704A
ISSN:
1348-0715
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)