前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：202002221793290239
整理番号：20A1920984
銅配線のCMP後洗浄におけるBTA除去に及ぼす複合剤の相乗効果【JST・京大機械翻訳】
Synergistic effect of composite complex agent on BTA removal in post CMP cleaning of copper interconnection
Yin Da
(School of Electronics and Information Engineering, Hebei University of Technology, Tianjin, 300130, People’s Republic of China)
,
Yin Da
(Tianjin Key Laboratory of Electronic Materials and Devices, Tianjin, 300130, People’s Republic of China)
,
Yang Liu
(School of Electronics and Information Engineering, Hebei University of Technology, Tianjin, 300130, People’s Republic of China)
,
Yang Liu
(Tianjin Key Laboratory of Electronic Materials and Devices, Tianjin, 300130, People’s Republic of China)
,
Yang Liu
(School of Electronic and Control Engineering, North China Institute of Aerospace Engineering, Langfang, 065000, People’s Republic of China)
,
Ma Tengda
(School of Electronics and Information Engineering, Hebei University of Technology, Tianjin, 300130, People’s Republic of China)
,
Ma Tengda
(Tianjin Key Laboratory of Electronic Materials and Devices, Tianjin, 300130, People’s Republic of China)
,
Xu Yi
(School of Electronics and Information Engineering, Hebei University of Technology, Tianjin, 300130, People’s Republic of China)
,
Xu Yi
(Tianjin Key Laboratory of Electronic Materials and Devices, Tianjin, 300130, People’s Republic of China)
,
Tan Baimei
(School of Electronics and Information Engineering, Hebei University of Technology, Tianjin, 300130, People’s Republic of China)
,
Tan Baimei
(Tianjin Key Laboratory of Electronic Materials and Devices, Tianjin, 300130, People’s Republic of China)
,
Yang Fan
(School of Electronics and Information Engineering, Hebei University of Technology, Tianjin, 300130, People’s Republic of China)
,
Yang Fan
(Tianjin Key Laboratory of Electronic Materials and Devices, Tianjin, 300130, People’s Republic of China)
,
Sun Xiaoqin
(School of Electronics and Information Engineering, Hebei University of Technology, Tianjin, 300130, People’s Republic of China)
,
Sun Xiaoqin
(Tianjin Key Laboratory of Electronic Materials and Devices, Tianjin, 300130, People’s Republic of China)
,
Liu Mengrui
(School of Electronics and Information Engineering, Hebei University of Technology, Tianjin, 300130, People’s Republic of China)
,
Liu Mengrui
(Tianjin Key Laboratory of Electronic Materials and Devices, Tianjin, 300130, People’s Republic of China)
資料名：
Materials Chemistry and Physics
(Materials Chemistry and Physics)
巻： 252 ページ： Null 発行年： 2020年
JST資料番号： E0934A ISSN： 0254-0584 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。