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文献
J-GLOBAL ID：202002222263557702
整理番号：20A2230333
P-232:有機発光ダイオードの損傷抵抗及び信頼性のある薄膜カプセル封じのためのレーザ支援プラズマ増強化学蒸着【JST・京大機械翻訳】
P-232: Laser Assisted Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition for Damage-Resistive and Reliable Thin Film Encapsulation of Organic Light Emitting Diodes
An Kunsik
(Micro/Nano Process Group, Korea Institute of Industrial Technology (KITECH), Ansan, 15588, Republic of Korea)
,
Lee Ho-Nyun
(Surface Technology Group, Korea Institute of Industrial Technology (KITECH), Incheon, 21999, Republic of Korea)
,
Cho Kwan Hyun
(Micro/Nano Process Group, Korea Institute of Industrial Technology (KITECH), Ansan, 15588, Republic of Korea)
,
Lee Seung-Woo
(Department of Mechanical Engineering, Hanyang University, Seoul, 04763, Republic of Korea)
,
Choi Sung-Hwan
(Micro/Nano Process Group, Korea Institute of Industrial Technology (KITECH), Ansan, 15588, Republic of Korea)
,
Hwang David J.
(Department of Mechanical Engineering, State University of New York, Stony Brook, NY, 11794, USA)
,
Kang Kyung-Tae
(Micro/Nano Process Group, Korea Institute of Industrial Technology (KITECH), Ansan, 15588, Republic of Korea)
資料名：
Digest of Technical Papers. SID International Symposium (Society for Information Display)
(Digest of Technical Papers. SID International Symposium (Society for Information Display))
巻： 51 号： 1 ページ： 1572-1575 発行年： 2020年
JST資料番号： E0907A ISSN： 0097-966X 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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