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文献
J-GLOBAL ID：202002222618470678
整理番号：20A0544916
異なる添加物を有する多孔質反応結合窒化ケイ素の誘電特性【JST・京大機械翻訳】
Dielectric Properties of Porous Reaction-Bonded Silicon Nitride with Different Additives
Xu Jie
(Xi’an Polytechnic University, Xi’an, People’s Republic of China)
,
Luo Fa
(Northwestern Polytechnical University, Xi’an, People’s Republic of China)
,
Zhou Wancheng
(Northwestern Polytechnical University, Xi’an, People’s Republic of China)
資料名：
Journal of Electronic Materials
(Journal of Electronic Materials)
巻： 49 号： 3 ページ： 1611-1617 発行年： 2020年
JST資料番号： D0277B ISSN： 0361-5235 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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