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文献
J-GLOBAL ID：202002224172159670
整理番号：20A2052213
WolterIII型Advanced KBミラーを用いたX線自由電子レーザーsub-10nm集光システムの開発(第3報)-差分成膜によるX線ミラーの高精度形状修正およびSPring-8における性能評価-
井上陽登
(大阪大 大学院工学研究科)
,
松山智至
(大阪大 大学院工学研究科)
,
山田純平
(理研 播磨研)
,
中村南美
(大阪大 大学院工学研究科)
,
田中優人
(大阪大 大学院工学研究科)
,
大坂泰斗
(理研 播磨研)
,
湯本博勝
(高輝度光科学研究セ)
,
小山貴久
(高輝度光科学研究セ)
,
大橋治彦
(高輝度光科学研究セ)
,
矢橋牧名
(理研 播磨研)
,
矢橋牧名
(高輝度光科学研究セ)
,
石川哲也
(理研 播磨研)
,
山内和人
(大阪大 大学院工学研究科)
資料名：
精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM)
(精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 2020 号： 秋季(CD-ROM) ページ： ROMBUNNO.D0402 発行年： 2020年08月20日
JST資料番号： Y0914B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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