文献
J-GLOBAL ID:202002225027214892
整理番号:20A2261406
2D精密ステージのための知的制御システムの設計【JST・京大機械翻訳】
Design of an Intelligent Control System for 2D Precision Stages
著者 (3件):
Yang Hui
(Xi’an Electronic Engineering Research Institute,Xi’an,China)
,
Shan Geng-long
(Xi’an Electronic Engineering Research Institute,Xi’an,China)
,
Chen Li-Ping
(Xi’an Electronic Engineering Research Institute,Xi’an,China)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2020
号:
IHMSC
ページ:
184-187
発行年:
2020年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)